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高精度微米到次微米孔隙的多孔陶瓷、真空吸盤及氣浮元件

  • 高精度微米到次微米孔隙的多孔陶瓷、真空吸盤及氣浮元件
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    高精度微米到次微米孔隙的多孔陶瓷、真空吸盤及氣浮元件

     

    製程能力:

    •    產品孔徑大小可由0.2µm-100µm,應用於各種特殊用途

    •    目前主產品為2µm-5µm、15µm-20µm、30µm-40µm。

    •    高平面度要求,可依尺寸達0.03-0.5mm

    •    單片尺寸可達520*520mm,組合尺寸可達2000*2000mm以上

    •    製程可控制孔隙率大小(10-60%),常用35-40%

    •    可客製化各種形狀及大小

    •    底座材質:精密陶瓷、石材、不鏽鋼、鋁合金

    •    多種顏色:白、黑、咖啡黑、深黑、土黃色等

    •    吸盤內部可設計加熱控溫,最高溫度150度,方便製程加熱需求

    •    特別開發低電阻值、高抗靜電佳(電阻值105~109歐姆)多孔陶瓷

     

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