長行程奈米定位平台
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商品資訊
奈米級高精度定位平台
技術簡介Introduction
奈米級高精度定位平台運動機構主要整合氣浮式線性馬達平台、壓電補償平台，回授系統使用多自由度雷射干涉儀量測系統，利用壓電補償平台補正線性馬達定位平台移動時之幾何誤差，且多自由度雙頻雷射干涉儀定位回授量測系統，解析度高、反應快速，因此定位平台移動速度快且定位精度高。
定位平台規格 Specifications
X、Y軸位移行程 200mm×200mm 驅動方式 線性馬達 最快移動速度 150mm/s 回授方式 雷射干涉儀 量測解析度 0.154nm 定位精度 50nm/200mm 直線度誤差 50nm/200mm Yaw角度誤差 <0.5arcsec/120mm Travel 200mm×200mm Drive System Linear Brushless motor Maximum Speed 150mm/s Feedback Laser Interferometer Measuring Resolution 0.154nm Accuracy 50nm/200mm Straightness 50nm/200mm Yaw <0.5arcsec/120mm -
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