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中空型精密XY運動定位平台

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    中空型精密XY運動定位平台

    簡介:

    1.線性馬達驅動 2.光學尺回授 3.精度: ±3μm 4.直線度: ±2μm 5.中空型工作台適用於AOI量測。 6.使用雷射干涉儀校正及進行精度補正。

    應用:

    檢測平台、機械手臂校正、AOI量測應用

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